双温区管式炉维护与故障排查

　　一、双温区管式炉加热管老化问题
 

　　现象：加热管断裂、电阻值异常升高或温度波动超过±5℃。
 

　　原因：
 

　　长时间高温运行(如>1200℃)导致材料疲劳；
 

　　频繁启停加速热胀冷缩循环；
 

　　炉内气氛腐蚀(如含硫、氯气体)。
 

　　解决方案：
 

　　定期更换：每2000小时或每年检查加热管状态，发现电阻值偏差>10%时立即更换；
 

　　优化工艺：设置升温/降温速率≤5℃/min，避免急冷急热；
 

　　气氛控制：使用惰性气体(如N₂、Ar)保护，避免腐蚀性气体接触加热管。
 

　　案例：某实验室因未控制氢气流量，导致加热管在1000℃下被还原性气氛腐蚀，更换后通过流量计校准解决问题。
 

　　二、温区漂移问题
 

　　现象：两温区温差>±20℃，或设定温度与实际值偏差>±3℃。
 

　　原因：
 

　　热电偶松动或老化；
 

　　PID参数未校准；
 

　　炉体密封性下降导致热量散失。
 

　　解决方案：
 

　　热电偶校准：每季度检查热电偶连接紧固性，误差>5℃时用标准温度源校准；
 

　　PID参数优化：通过自整定功能(AT)重新设定P、I、D值，或手动调整(如P=10%、I=200s、D=50s)；
 

　　密封性维护：更换耐温硅胶圈(如氟橡胶圈)，重新安装法兰盘并涂抹高温密封胶。
 

　　数据支撑：某企业通过调整PID参数，将温区漂移从±15℃降低至±2℃。
 

　　三、真空度下降问题
 

　　现象：真空泵运行正常，但炉内压力>10⁻² Pa(要求≤10⁻³ Pa)。
 

　　原因：
 

　　真空系统泄漏；
 

　　炉管或法兰盘老化；
 

　　真空泵油污染。
 

　　解决方案：
 

　　泄漏检测：使用氦质谱检漏仪定位漏点，重点检查炉管接口、观察窗密封圈；
 

　　部件更换：对裂纹炉管或变形法兰盘进行更换(如石英管更换周期为3年)；
 

　　真空泵维护：每500小时更换真空泵油，并清洗油路过滤器。
 

　　案例：某高校因未及时更换真空泵油，导致真空度下降至10⁻¹ Pa，更换后恢复至10⁻³ Pa。
 

　　四、超温报警异常问题
 

　　现象：未达设定温度即触发报警，或超温后未自动停机。
 

　　原因：
 

　　控温仪故障；
 

　　继电器粘连；
 

　　安全温度设定值错误。
 

　　解决方案：
 

　　控温仪检修：检查控温仪输出信号(如4-20mA)，若异常则更换；
 

　　继电器更换：测试继电器触点电阻(正常应<0.1Ω)，粘连时更换；
 

　　安全参数校准：将安全温度设定值调整为比工艺温度高5-10℃。
 

　　安全提示：超温报警是关键保护功能，禁止屏蔽或修改安全参数。
 

　　五、程序中断问题
 

　　现象：PRG程序运行中突然停止，显示“ERROR”或“HALT”。
 

　　原因：
 

　　电源波动；
 

　　热电偶断路；
 

　　程序逻辑冲突。
 

　　解决方案：
 

　　电源稳定：加装稳压器(如输出电压波动≤±1%)；
 

　　热电偶检查：用万用表测量热电偶电阻(如K型热电偶在25℃时为1.08Ω)，断路时更换；
 

　　程序调试：简化程序步骤，避免多段温度交叉设置(如同时升温+通气)。
 

　　案例：某企业因程序设置“300℃保温时通入H₂”，导致逻辑冲突，修改为“先通H₂再升温”后解决问题。
 

　　双温区管式炉维护与故障排查通用建议

 

　　预防性维护：
 

　　每日：检查设备外观、电源线、气体管路；
 

　　每周：清洁炉膛、校准温度传感器；
 

　　每月：测试真空度、检查加热管电阻。
 

　　备件管理：储备常用备件(如热电偶、密封圈、加热管)，缩短停机时间。
 

　　操作培训：确保操作人员熟悉设备原理及应急处理流程(如超温报警时立即切断电源)。